半导体用精密压力調整器（调压阀）

型号:R25系列

入口圧力： 6.0MPa以下

調整圧力（注1）： Max.0.99MPa

（レンジ仕様0～0.2MPa、0～0.4MPa、0～0.6MPa、0～0.99MPa）

元圧変動：入口圧力；0.1MPa当たり 調整圧力変化量0.00178MPa

耐圧圧力：22.2MPa（入口側）

Cv値： 0.12

使用温度：－10℃～40℃

外部リークネジ込み仕様（P）；1×10－9Pa・m3/s・He（真空法）

溶接仕様（W）；1×10－11Pa・m3/s・He（真空法）

（但し、グレード“C”はN2ガスによる24時間封入テスト）

内部容積： 116.75px3（圧力計、継手部を除く）

質量約：0.96kg

取付方法：前面パネル取付用ナットまたは背面ネジによる取り付け

［注記］

（1）圧力計付の場合の調整圧力は、最大目盛値の60%以内です。

（2）1MPa = 10 .2 kgf/cm2 = 144 .84 PSI = 7504 .36 mmHg = 295 .4 inHg

標準面間寸法：

NPT1 /4メス・本体面間寸法 ………………… 約48mm

1 /4”フェイス・シール継手面間寸法（オス） … 約82mm

1 /4”フェイス・シール継手面間寸法（メス） … 約99mm

1 /4”SUSパイプ継手面間寸法 ………………… 約111mm

产品资料下载：半导体用精密圧力調整器.pdf